免費電話:13355227899
Banner
首頁 > 新聞動態 > 內容
三輪車檢測線檢測工作臺正交性
- 2019-12-09-

  三輪車檢測線二維工作臺是掃描干涉場曝光系統中的機械分度與掃描運動工作臺。掃描工作臺此工作臺的正交性對掃描光柵的刻線均勻性、刻線間的平行等指標是很重要的?,F世界對于檢測正交性的方法有很多,主要分為光學檢測和機械檢測。

  三輪車檢測線光學檢測中的主要器件為五棱鏡、自準直儀和反射鏡;機械檢測主要器件為多齒分度盤、平晶和微位移檢測設備(如電容測微儀、電感儀等)。文中介紹機械檢測工作臺正交性的方法。

  而微位移檢測設備選用非接觸式電容測微儀。由于它具有精度和分辨率高、對環境要求低、穩定性好、適用材質和對基準平晶有保護作用等多種優點[7-8],所以選擇在此次檢測中應用。

  1.升降機構;2.刻度盤;3.上齒盤;4.工作臺面;5.固定指標線;6.下齒盤多齒分度盤1檢測方法已知X,Y兩向導軌直線度已經達到要求的條件下,將電容測微儀固定在工作臺表面上,在工作臺外側將基準平晶放置并固定在多齒分度盤工作臺面上。


日韩中文字幕无码一区二区三区